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极大规划集成电路含氟电子气体完成国产化

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  由中国化工拂晓化工研讨设计院(以下简称拂晓院)承当的国家科技严重专项“极大规划集成电路制造配备与成套工艺”子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研制与中试”日前经过国家严重专项项目组的测验与评定,标志着我国极大规划集成电路职业所需高纯度含氟电子气体完成国产化。

  集成电路是信息社会的根基,其制造技能代表着当今世界微细制造的顶配水平。跟着咱们国家信息化进程的加速,对集成电路产品的需求继续敏捷添加。为完成自主立异开展,我国于2008年发动施行集成电路专项,以推进工业应用为方针,经过商场机制打通科技与经济的衔接通道,树立以企业为主体,高校和科研院所大协作,科技、工业、金融与区域经济有用协同的新模式。

  高纯度含氟电子气体是极大规划集成电路职业必需的清洗和蚀刻气体,在芯片制造的过程中保证极大规划集成电路的生成,保证电路有用发挥作用。跟着极大规划集成电路技能的提高,芯片制程向14纳米乃至7纳米跨进,对电子气体的纯度要求越来越高。

  拂晓院于2013年开端“高纯四氟化碳和六氟化硫研制与中试”的课题研讨,凭借国家科技严重专项渠道,悉心攻关,在多项要害技能上获得打破。其间高纯度四氟化碳和六氟化硫制备过程中微量杂质的纯化、剖析等技能难题得以霸占,制备出的产品纯度达99.999%,推行运用后获得了杰出的商场作用。此外,该项目在知识产权目标、人才建造、工业化目标和经费运用等多重维度也到达立项要求。拂晓院也由此进一步加速了科学技能立异和工业化开展脚步,成功完成由工业级向高纯级、多种类等高功能、高的附加价值产品的转型晋级和结构调整。

  现在,拂晓院高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,价格与进口同种类型的产品适当,但功能好价格低,可彻底完成对进口产品的代替。

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